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產(chǎn)品中心

Product Center

臺(tái)式掃描電鏡

產(chǎn)品簡介

經(jīng)濟(jì)型掃描電鏡,SS-60臺(tái)式掃描電鏡(外觀為落地式)具有體型小巧,占用空間小;可放大60000倍;15nm分辨率;采用二次電子或背散電子兩種探測器,可通過選配不同配置,也可選配EDS可進(jìn)行元素成份分析,操作簡單,易于維護(hù);

產(chǎn)品型號(hào):SS-60
更新時(shí)間:2025-07-24
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:3681
詳細(xì)介紹在線留言
品牌SENSEXRF/善時(shí)產(chǎn)地類別國產(chǎn)
背散射電子圖像分辨率15nm二次電子圖象分辨率15nm
加速電壓1-30kV放大倍數(shù)20-60000x
價(jià)格區(qū)間面議儀器種類鎢燈絲
應(yīng)用領(lǐng)域綜合

一、SS-60臺(tái)式掃描電鏡技術(shù)特點(diǎn):

(1)放大倍率6萬倍(Magnification Max 60,000x)

(2)采用二次電子和背散射電子探測器(可選)(Signal Detection: SE Detector+BSE Detector optional)

(3)1KV~30KV加速電壓選擇,圖像分辨率高(Accelerating Voltage:1kV to 30Kv,High image resolution)

(4)通過選配EDS可進(jìn)行元素成份分析(EDS is optional, for component analysis)

(5)冷卻臺(tái)的安裝可在無前處理情況下對(duì)水分取樣分析(Installation a cooling Stage, Can measure aqueous samples without pretreatment)

(6)高/低真空配置縮短前處理過程(High&Low Vacuum System)

(7)CCD攝像頭的安裝可對(duì)載物臺(tái)內(nèi)部觀察(The CCD camera is mounted to view the inside of the stage)

(8)Tilt(0~45)載物臺(tái)配置(可選擇)(Tilt Stage configuration( optional))

 

二、特性:

(1)臺(tái)式掃描電鏡,體型小巧,占用空間小;

(2)強(qiáng)大的軟件功能,單窗口操作界面讓用戶操作方便簡單;

(3)軟件實(shí)現(xiàn)檢測圖形實(shí)時(shí)存儲(chǔ);

(4)掃描電鏡產(chǎn)品結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)簡潔,易于維護(hù)及保養(yǎng);

(5)自動(dòng)平臺(tái)采用中心定位模式,迅速定位待測樣品;

(6)高低壓真空設(shè)計(jì),可調(diào)式電壓,為不同樣品提供更合適的檢測環(huán)境。

 

三、主要參數(shù):

主體參數(shù)

1.分辨率:15nm (30kV, SE Image)

2.放大倍率:20~60,000 X

3.加速電壓:1kV to 30kV (1kV/5kV/10 kV /15kV/20kV/30 kV -6 step)

圖像檢測

1.背散射電子圖像(BSE)-Backscattered Electron Image

2.二次電子圖像-(SE)-Secondary Electron Image

觀察模式

1.Standard Mode 標(biāo)準(zhǔn)模式

2Charge-up reduction mode 遞減模式

電子槍系統(tǒng)

1、燈絲類型:預(yù)對(duì)中鎢燈絲

2、偏壓系統(tǒng):自動(dòng)偏壓方式

3、電子槍校正:手動(dòng)方式

透鏡構(gòu)成

1、聚光鏡:2段式磁線圈透鏡

2、物鏡:1段式磁線圈物鏡

3、探測器類型:SE Detector/ BSE Detector

4、載物臺(tái)系統(tǒng):手動(dòng)

5、載物臺(tái)移動(dòng):3軸手動(dòng)

6、圖像偏移:Image shift X, Y Image Shift (±150um)

7、*樣品尺寸:高度40mm時(shí)直徑80mm

8、圖像掃描:

快速掃描: 320x240 (Scan time: 0.1 sec.)

低速掃描 : 640x480 (Scan time: 3 sec.)

圖片模式1: 1280x960 (Scan time: 30sec.)

圖片模式2: 2560x1920 (Scan time: 60sec.)

圖片模式3: 5120x3840 (Scan time: 120sec.)

9、*自動(dòng)功能:自動(dòng)啟動(dòng),自動(dòng)聚焦,自動(dòng)亮度對(duì)比度調(diào)節(jié)

10、圖像存儲(chǔ)格式:BMP, JPEG, PNG,TIFF

11、*數(shù)據(jù)顯示:放大倍率,探測器類型,電壓,真空模式,Logo(Text),Date and time,Text marker,比例尺等

12、真空系統(tǒng):

高真空模式

(旋轉(zhuǎn)式機(jī)械泵)Rotary Pump/100Liters/min

(渦輪式分子泵)Turbo Molecular Pump/ 70Liters/sec

抽真空時(shí)間:3分鐘以內(nèi)

 

四、環(huán)境要求:

1、附近不要有電梯電磁干擾和有震動(dòng)的設(shè)備,不要有水源,220V穩(wěn)壓,50Hz
2、環(huán)境不要震動(dòng)和磁干擾,溫度25左右,濕度60以下

 

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